英特尔公司是世界第一大半导体生产公司,是世界最大的芯片生产商,且在电脑、网络及通信产品生产中居于主导地位。英特尔公司于2006成立英特尔半导体(大连)有限公司,以该公司名义选址大连市经济技术开发区建厂,之后厂区内陆续实施了调整、技改、扩建等工程。2022年2月,爱思开海力士半导体(大连)有限公司(简称“海力士公司”)完成对英特尔半导体(大连)有限公司的收购,现有厂区责任主体已变更为爱思开海力士半导体(大连)有限公司。
现有工程包括非易失性存储器项目一期项目(产能为60万片/年,生产线布置于生产厂房F1,简称“一期项目”)、非易失性存储器项目一期扩建项目(产能为104万片/年,生产线布置于生产厂房F2,简称“一期扩建项目”)以及已建未验收的海力士非易失性存储器一期项目(产能为48万片/年,生产线布置于生产厂房F3后,简称“海力士一期项目”)。
因在芯片的生产过程中,退火、外延生长、刻蚀等工艺需要使用高纯氢气,本项目扩建了2套300m3/h水电解制氢装置及氢气纯化装置,其中1套位于海力士厂区新建的制氢站(建筑编号为L14)内,所制氢气全部供给“海力士一期项目”,不外售;另1套位于西北侧相邻联华精密气体站(已被海力士收购)车间内,所制氢气全部供给“一期项目”和“一期扩建项目”,不外售。
2022年9月,大连益驰思安全环境技术有限公司编制了《爱思开海力士半导体(大连)有限公司扩建2套300m3/h水电解制氢装置及氢气纯化装置项目环境影响报告书》,大连市生态环境局于2022年10月30日以大环评准字[2022]000051号文给予了批复。项目于2022年12月开工建设,2023年10月13日竣工,2024年10月6日开始调试运行。建设单位于2023年5月向大连市生态环境局重新申请了排污许可证,证书编号为91210242MA113A1K38001V。
根据中华人民共和国《建设项目环境保护管理条例》(国务院第682号令)、《建设项目竣工环境保护验收暂行办法》(国环规环评[2017]4号)等相关规定,建设单位组织开展建设项目竣工环保验收。2024年8月,爱思开海力士半导体(大连)有限公司,委托大连华信理化检测中心有限公司承担“爱思开海力士半导体(大连)有限公司扩建2套300m3/h水电解制氢装置及氢气纯化装置项目”竣工环境保护验收监测技术服务工作。大连华信理化检测中心有限公司随即组织技术人员对该项目进行了现场勘查,在对该项目技术资料查阅和现场勘查的基础上编制了《爱思开海力士半导体(大连)有限公司扩建2套300m3/h水电解制氢装置及氢气纯化装置项目竣工环境保护验收监测方案》,作为现场监测的依据。并于2024年10月11日、10月12日进行了现场监测,收集核实了有关资料,在此基础上编制本验收监测报告。
具体内容详见附件:
爱思开海力士半导体(大连)有限公司扩建 2 套 300m3/h 水电解制氢装置及氢气纯化装置项目竣工环境保护验收监测报告